图/刘丁教授团队

刘丁教授团队长期从事相关领域的理论与应用研究及工程实践，先后承担多项国家863计划、国家科技重大专项、国家973计划、国家自然科学基金重点和面上等国家级项目。在该领域发表高水平论文150余篇，其中SCI检索70余篇，EI检索60余篇，授权发明专利41项，其中国际专利2项（美国）。特别在8-12英寸硅单晶生长设备及控制系统、高效硅单晶生长加热系统等方面取得了重要的理论和技术成果。理论成果实现了转化和重大产业化应用。研制的新一代大尺寸集成电路硅单晶生长设备在我国重要的半导体大硅片企业实现一次试产成功，为实现我国在集成电路硅材料关键技术与核心工艺产业化方面取得新突破、解决在半导体大硅片领域的“卡脖子”问题做出了重要贡献。

图/本项目组研制的新一代大尺寸

电子级硅单晶生长设备及生产的半导体级大硅片

文章来源：《粉末冶金材料科学与工程》 网址: http://www.fmyjclkxygcbjb.cn/zonghexinwen/2021/1216/652.html